特許
J-GLOBAL ID：200903070030602718
複合ガスセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-116610
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318524
出願日： 1994年05月30日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】 室内空気の汚染する複数のガスを単一のセンサで検知することを目的とする。【構成】 基板1は裏面にPtヒータ2を、表面には一対の電極3をスパッタやスクリーン印刷や蒸着により形成している。前記一対の電極3上にはガス感応膜a4、ガス感応膜b5、ガス感応膜c6がスパッタもしくはスクリーン印刷により形成されている。一対の電極3には出力取り出し用のリード14が取り付けられている。上記構成により、検知したいガスに合わせてガス感応膜を選択することにより複数のガスを単一のセンサで検知することができる。
請求項（抜粋）：
測定ガスにより電気抵抗が変化しガスを検知する電気抵抗式ガスセンサにおいて基板上に一対の電極とガス検知特性の異なる2種類以上の複数のガス感応膜を前記一対の電極に接して配置し前記基板の他面にヒータを形成して構成した複合ガスセンサ。
IPC (2件)：
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