特許
J-GLOBAL ID：200903070035108410
ウエーハプロービング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-235815
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074888
出願日： 1991年09月17日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：
【要約】【構成】ウェーハプロービング装置に、記憶装置7及びフロッピーディスク装置8を付加する事で、チップ外観検査結果のデータを直接取り込む事を可能とし、外観検査で不良と判定されたチップを無条件でマーキングし、外観検査で良品と判定されたチップのみを特性試験の対象とする。【効果】ウェーハ内に作られた全チップを特性試験の対象とせず、チップ外観検査にて良品と判定されたチップのみを特性試験の対象とする為、効率が良く生産性が向上する。
請求項（抜粋）：
前工程のチップ外観検査によって不良品と判定された前記チップを特性試験の対象とせず、外観上良品とされた前記チップのみを対象に特性試験を行うように、記録装置及びフロッピーディスクを備えたことを特徴とするウェーハプロービング装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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