特許
J-GLOBAL ID：200903070035486902
半導体圧力変換器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-215802
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075581
出願日： 1994年09月09日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】【目的】 ゲージのリードを短縮化させることができ、半導体基板とリードとの熱膨張係数および強度の相違に起因するダイヤフラム部の不均一な変形を極力小ならしめ、測定精度を向上させる。【構成】 半導体圧力センサ9の上方にボード41を配設する。ボード41には差圧検出用ゲージ12、温度補償用ゲージ17および静圧検出用ゲージ31の接続回路42と、各ゲージ12,17,31の端子部15,19,33に対応する複数のリード線通過孔43が形成されている。接続回路42と各ゲージ12,17,31の端子部とは、通過孔43に挿通されるリード線46によってそれぞれ接続され、さらに各接続回路42はリード線16によって導電ピン6に接続される。このため、半導体圧力センサ9側ではゲージ12,31をホイールストーンブリッジに結線する必要がなく、そのリード線13,32を短縮化させる。
請求項（抜粋）：
半導体圧力センサを接合した支持台に導電ピンを立設し、前記半導体圧力センサに形成されたゲージと前記導電ピンとをリード線により電気的に接続した半導体圧力変換器において、前記半導体圧力センサに複数のゲージとそのリードを形成し、複数のゲージ用接続回路とリード線通過孔を有するボードを前記半導体圧力センサの上方に配設し、前記リードと接続回路間および導電ピンと接続回路間をそれぞれ対応する端子部同士でリード線により接続したことを特徴とする半導体圧力変換器。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, G01L 19/04
