特許
J-GLOBAL ID：200903070038858665
光ピックアップ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-009820
公開番号（公開出願番号）：特開平7-220301
出願日： 1994年01月31日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】 フォーカスエラー信号にオフセットが含まれず、常に精度の良いフォーカス制御を行うことができる光ピックアップ装置を提供する。【構成】 光源1からの出射光Aを光束分離手段3により対物レンズ4側に向かわせる測定用光束Bと対物レンズ4側に向かわせないモニタ用光束Cとに分離し、その一方の測定用光束Bを対物レンズ4により集光して測定物5に照射しその反射された光束を第1回折格子8aと第2回折格子8bとを有する測定用干渉縞発生手段8を介して測定用受光素子9に導き、また、その他方のモニタ用光束Cを第1回折格子10aと第2回折格子10bとを有するモニタ用干渉縞発生手段10を介してモニタ用受光素子11に導くことにより、モニタ用光束Cの波面と測定用光束Bの波面とを比較してオフセットを含まないフォーカスエラー信号を求めることができる。
請求項（抜粋）：
光源からの出射光を対物レンズ側に向かわせる測定用光束と前記対物レンズ側に向かわせないモニタ用光束とに分離する光束分離手段を設け、この分離された一方の前記測定用光束を前記対物レンズにより集光して測定物に照射しその反射された光束が再び前記対物レンズ及び前記光束分離手段を通過した光路中にその光束が入射することにより±n次光の第1回折光を発生させる第1回折格子と、この第1回折格子に対向配置され前記第1回折光が入射することにより±m次光の第2回折光を発生させる第2回折格子とを有し前記第2回折光の間での干渉により干渉縞を発生させる測定用干渉縞発生手段を設け、この測定用干渉縞発生手段により発生した干渉縞の位相とピッチの変化を検出する測定用受光素子を設け、前記光束分離手段により前記対物レンズに入射する前に分離された他方の前記モニタ用光束の光路中にその光束が入射することにより±n次光の第1回折光を発生させる第1回折格子と、この第1回折格子に対向配置され前記第1回折光が入射することにより±m次光の第2回折光を発生させる第2回折格子とを有し前記第2回折光の間での干渉により干渉縞を発生させるモニタ用干渉縞発生手段を設け、このモニタ用干渉縞発生手段により発生した干渉縞の位相とピッチの変化を検出するモニタ用受光素子を設けたことを特徴とする光ピックアップ装置。
IPC (3件)：
G11B 7/135
, G01B 11/00
, G11B 7/09
