ポジ型シリコーン含有感光性組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩野平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-065102
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258914
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】遠紫外領域の露光に対応することができ、高感度で且つ高い解像力を有し、特に0.2μm以下の微細パターンを形成する際、現像処理後の膜減りが少なく、酸素プラズマ工程でも寸法変動が少なく、しかもプロセス許容性の広いポジ型感光性組成物を提供すること。【解決手段】(a)水には不溶性、アルカリには可溶性である、特定のシロキサン構造を有するシリコン含有ポリマーと、(b)活性光線もしくは放射線の照射により酸を発生する化合物と、(c)特定の環状構造の繰り返し単位を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する性質のあるポリマーとを含有するポジ型シリコーン含有感光性組成物が提供される。

請求項（抜粋）：

(a)下記一般式〔I〕及び/又は〔II〕で表される構造を有し、水には不溶性、アルカリには可溶性であるポリマーと、(b)活性光線もしくは放射線の照射により酸を発生する化合物と、(c)下記一般式〔III〕で表される繰り返し単位を有し、酸により分解し得る基を有し、そしてアルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する性質のあるポリマーとを含有することを特徴とするポジ型シリコーン含有感光性組成物。【化1】上記一般式〔I〕及び〔II〕中;、Xは、-C(=O)-Rで表される基、-CH(OH)-Rで表される基及びカルボキシル基よりなる群から選択される基であり、式中の複数のXは、同一又は異なっていてもよい。ここでRは、水素原子又は置換基を有していてもよい炭化水素基を示す。R’〜R'''''は、同一又は異なって、水酸基、又は置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アルケニル基、アラルキル基及びフェニル基よりなる群から選択される基である。Yは、アルキル基、アルコキシ基又はシロキシル基である。R0は、水素原子、ハロゲン原子、又は置換基を有していてもよい、脂肪族炭化水素基及び芳香族炭化水素基よりなる群から選ばれた基を表す。l、m、n及びqは、各々0又は正の整数であり、pは正の整数である。【化2】上記一般式〔III〕中;RC1〜RC8は、同一または異なって、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、環状炭化水素基、ハロゲン原子、シアノ基、酸の作用により分解する基、又は-C(=O)-U-A-RC9基、-COORC11基を表す。ここで、Uは、酸素原子、硫黄原子、-NH-、-NHSO2-、及び-NHSO2NH-から選ばれる2価の基を表す。RC9は-COOH、-COORC10(RC10は、RC11、下記一般式〔IV〕又は〔V〕で表されるラクトン構造のいずれかを表す)、シアノ基、水酸基、置換基を有していてもよいアルコキシ基、-CO-NH-RC11、-CO-NH-SO2-RC11、下記一般式〔IV〕又は〔V〕で表されるラクトン構造のいずれかを表す。RC11は、水素原子、又は置換基を有していてもよい直鎖状、鎖状、あるいは環状アルキル基を表す。Aは、単結合、アルキレン基、置換アルキレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基、アミド基、スルホンアミド基、ウレタン基、及びウレア基よりなる群から選択される単独の2価の基又は2つ以上の基を組合せた2価の基を表す。a及びbは、各繰り返し単位のモル%を表し、a/b=1/9〜9/1であり、a+b=10〜100モル%である。【化3】一般式〔IV〕及び〔V〕中、R29〜R36は、同一又は異なって、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基を表す。c及びdは、それぞれ1又は2である。

IPC (4件)：

G03F 7/039 601 , C08L 83/06 , G03F 7/075 511 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 601 , C08L 83/06 , G03F 7/075 511 , H01L 21/30 502 R

Fターム (33件)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA09 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB33 , 2H025CB52 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H025FA41 , 4J002BK002 , 4J002CE002 , 4J002CP031 , 4J002CP051 , 4J002CP061 , 4J002CP081 , 4J002EA046 , 4J002EV266 , 4J002EV296 , 4J002FD020 , 4J002FD090 , 4J002FD310 , 4J002GP03 , 4J002HA05

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