レーザ光発生装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-078753
公開番号（公開出願番号）：特開平5-243661
出願日： 1992年03月02日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【構成】レーザ光源11からのレーザ光を、位相変調器12を介して共振器15に送る。共振器15の一対の反射面の内の一方である反射面17は、電磁アクチュエータ19により光軸方向に駆動制御される。発振器21からの変調信号を位相変調器12に送ってレーザ光を位相変調し、共振器15からの戻り光(反射光)を光検出器23で検出した信号を、変調信号で同期検波することにより、共振器15の光路位相差の誤差信号を検出し、電磁アクチュエータ19の制御信号とする。【効果】電磁アクチュエータ19は、サーボ帯域が広く安定な制御が行えると共に、消費電力が少なく、サーボ回路構成が簡単でコストダウンが図れる。

請求項（抜粋）：

少なくとも一対の反射手段を用いて構成される共振器内部に設けられた非線形光学結晶素子への入射レーザ光を共振動作させることにより波長変換されたレーザ光を発生させるレーザ光発生装置において、上記一対の反射手段の少なくとも一方の反射手段を光軸方向に移動させる電磁アクチュエータを設けて成ることを特徴とするレーザ光発生装置。

IPC (4件)：

H01S 3/109 , H01S 3/08 , H01S 3/082 , H01S 3/108

引用特許：

審査官引用 (28件)

特開平2-239238
特開平2-239238
特開平1-222234

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