赤外検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田守 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-026856
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220008
出願日： 1995年02月15日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】従来、目視および可視カメラによる検査で検出することが困難であった微少なクラックのような欠陥をも容易に発見することができる検査装置を得る。【構成】 1は被検体、2は微動台、10は赤外光源、11は拡散器、12は出射した赤外線、13は透過した赤外線、14は赤外線レンズ、15は赤外線カメラ、そして16はモニタである。

請求項（抜粋）：

被検体の赤外線を取り込んで映像信号に変換する赤外線カメラと、この赤外線カメラの映像信号を入力して可視映像を表示するモニタとからなる赤外検査装置において、上記被検体として赤外線を透過する物体を用いるとともに、別に設けた赤外光源を、上記被検体を間にして上記赤外線カメラと対向するように配置したことを特徴とする赤外検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G01M 11/00 , G01J 1/02

FI (3件)：

G01N 21/88 E , G01M 11/00 T , G01J 1/02 C

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