気体及び他の流体のための薄層多孔光センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：熊倉禎男 , 大塚文昭 , 西島孝喜 , 須田洋之
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-547509
公開番号（公開出願番号）：特表2007-523321
出願日： 2004年12月23日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：

【課題】流体の分光又は干渉測定を行うための薄層電極及び方法を提供する。【解決手段】気体センサは、多孔性の薄いフィルムセル内で光学干渉を用いて孔隙媒質の屈折率を測定する。孔隙内の媒質が変化すると、スペクトル的変動を検出することができる。例えば、孔隙が溶液で満たされると、固有ピークは1つの方向にスペクトルシフトを示す。逆に、微量の気体が生成されると、ピークは反対方向にシフトする。これは、気体の発生や湿度の測定、及び他の干渉計ベースのセンサ装置に対する用途に使用することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

物質を分析する方法であって、 (a)液体又は気体物質を光反射薄層電極内に導入する段階、を含み、前記電極は、アルミナフィルムが配置された透明ベース基板を含み、該アルミナフィルムは、そこに複数の孔隙を形成し、金フィルムが、多量の前記液体又は気体物質が前記孔隙の少なくとも1つに入ることができるように前記アルミナフィルム上に配置されており、 (b)前記孔隙の前記多量の液体又は気体物質が、前記電極周りに配置された該液体又は気体物質の残りの大部分から隔離されるように、前記金フィルムに電位を印加する段階と、 (c)光源から前記電極に入る光を前記ベース基板の近傍から前記金フィルムの方向に向ける段階と、を更に含み、前記電位下の前記金フィルムは、反射光を分析するために前記光を前記孔隙の前記多量の液体又は気体物質内に反射するように構成されている、ことを特徴とする方法。

IPC (2件)：

G01N 21/27 , G01N 21/03

FI (3件)：

G01N21/27 D , G01N21/27 C , G01N21/03 Z

Fターム (31件)：

2G057AA01 , 2G057AA05 , 2G057AA07 , 2G057AB01 , 2G057AB02 , 2G057AB03 , 2G057AB06 , 2G057AB09 , 2G057AC01 , 2G057AC03 , 2G057BA01 , 2G057BB06 , 2G057BD09 , 2G057DB05 , 2G059AA01 , 2G059BB01 , 2G059BB04 , 2G059CC06 , 2G059CC09 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE05 , 2G059EE10 , 2G059EE12 , 2G059EE17 , 2G059FF07 , 2G059GG09 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059KK01

引用特許：

出願人引用 (1件)

米国特許仮出願出願番号第60/533、570号

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