特許

J-GLOBAL ID：200903070074710208

メカノケミカル砥石

発明者： 西原 浩巳 ,  安永 暢男
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-176882
公開番号（公開出願番号）：特開2001-009731
出願日： 1999年06月23日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：

【要約】【課題】 シリコンウエーハなどの表面を平坦に研磨する際、消耗品の消費量が少なく、且つ安定した加工結果を実現することができるメカノケミカル砥石を提供する。【解決手段】 本発明のメカノケミカル砥石は、MnO2、Mn2O3、Mn3O4またはFe3O4からなる砥粒をエポキシ樹脂系のボンド剤で結合し、室温で加圧成形することによって得られる。なお、砥粒とボンド剤の混合比率(重量比)は、「95:5」から「98:2」の範囲が好ましい。

請求項（抜粋）：

MnO2、Mn2O3、Mn3O4及びFe3O4からなる群から選択された少なくとも一種からなる砥粒をボンド剤で結合し、加圧成形することにより得られたことを特徴とするメカノケミカル砥石。

IPC (3件)：

B24D 3/00 320 ,  B24D 3/28 ,  B24D 3/34

FI (3件)：

B24D 3/00 320 Z ,  B24D 3/28 ,  B24D 3/34 Z

Fターム (8件)：

3C063AA02 ,  3C063AB05 ,  3C063BB01 ,  3C063BC03 ,  3C063BH27 ,  3C063CC19 ,  3C063EE10 ,  3C063FF23