特許

J-GLOBAL ID：200903070078573744

単結晶成長用ルツボ及び単結晶の製造方法

発明者： 坂下 由彦 ,  川中 岳穂
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 安田 敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-006606
公開番号（公開出願番号）：特開2000-203980
出願日： 1999年01月13日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
要約：

【要約】【課題】 GaAs等の単結晶を製造する場合に用いるルツボは、種結晶、化学原料及び液体封止材を収容する下端開放の本体部を有したものであり、その使用時には、本体部の下端に下キャップを装着され、本体部内へ化合物原料を入れ、またその上から液体封止材を入れて加熱した場合、液体封止材が溶融して本体部下部まで流れ落ちるようになり、更に本体部下端から漏れだして本体部下端の外周面と下キャップの内周面との周隙間へ流れ出るということがあった。そのため、単結晶成長後にアルコールによる液体封止材の溶解除去をする時点で、この作業が長時間にわたるということがあった。【解決手段】 本体部2下端に予め中栓5を装着させた後、この中栓5をも含めるかたちで下キャップ6を外嵌装着させて、液体封止材の流出を止める。

請求項（抜粋）：

種結晶(10)、化合物原料(11)及び液体封止材(12)を収容する下端が開放された本体部(2)と、該本体部(2)の下部で嵌合される下キャップ(6)とを有する単結晶成長用ルツボであって、前記下キャップ(6)の内側に、前記本体部(2)下端を完全閉鎖する中栓(5)が装着されていることを特徴とする単結晶成長用ルツボ。

IPC (4件)：

C30B 11/00 ,  B01L 3/04 ,  C30B 27/00 ,  B65D 51/18

FI (4件)：

C30B 11/00 C ,  B01L 3/04 ,  C30B 27/00 ,  B65D 51/18

Fターム (27件)：

3E084AA04 ,  3E084AA12 ,  3E084AA39 ,  3E084AB10 ,  3E084BA03 ,  3E084CA01 ,  3E084CC10 ,  3E084DA01 ,  3E084DC10 ,  3E084EA02 ,  3E084EC10 ,  3E084FA09 ,  3E084GA08 ,  3E084GB12 ,  4G057AB04 ,  4G057AB34 ,  4G077AA02 ,  4G077BE35 ,  4G077BE43 ,  4G077BE44 ,  4G077BE46 ,  4G077CF05 ,  4G077ED01 ,  4G077EG02 ,  4G077EG18 ,  4G077EH07 ,  4G077MA02