特許
J-GLOBAL ID：200903070078958247
探針位置決め機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-113743
公開番号（公開出願番号）：特開平9-297149
出願日： 1996年05月08日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、形状の異なったバネ部材の取り付けが可能な探針位置決め機構を提供する。【解決手段】 一端を固定したバネ部材3で支持された探針2と、前記探針2の変位を検出する変位検出センサ7とを有し、前記変位検出センサ7に対して前記バネ部材3の位置を調整し保持する探針位置決め機構において、前記バネ部材3を保持するホルダ4と、前記ホルダ4を磁力により保持し、かつ、保持面で前記ホルダ4がX方向及びY方向に移動可能な状態で支持する中間ホルダ5と、この中間ホルダ5を磁力により保持し、かつ、保持面でZ方向に移動可能な状態で支持する支持部6とを有するものである。
請求項（抜粋）：
一端を固定したバネ部材で支持された探針と、前記探針の変位を検出する変位検出センサとを有し、前記変位検出センサに対して前記バネ部材の位置を調整し保持する探針位置決め機構において、前記バネ部材を保持するホルダと、前記ホルダを磁力により保持し、かつ、保持面で前記ホルダがX方向及びY方向に移動可能な状態で支持する中間ホルダと、この中間ホルダを磁力により保持し、かつ、保持面でZ方向に移動可能な状態で支持する支持部とを有することを特徴とする探針位置決め機構。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/00
, G01B 21/30
G01N 37/00 G
, G01B 7/00 J
, G01B 21/30 Z
