特許

J-GLOBAL ID：200903070079563181

板材搬送用吸着パッド構造

発明者： 野田 光裕
出願人/特許権者： 中村留精密工業株式会社
代理人 (1件)： 大谷 嘉一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-027413
公開番号（公開出願番号）：特開2003-225879
出願日： 2002年02月04日
公開日（公表日）： 2003年08月12日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ディスク基板等の板材の真空吸着手段に用いられる吸着パッド構造において、基板に当接する吸着Vリングの取り換えが容易で、耐真空リーク性に優れた構造を提供する。【解決手段】弾性材からなるラッパ状の吸着Vリング2の根元部外周に段差部21を設け、当該吸着Vリング2を取り付けるハンド側ベース部材1に、当該吸着Vリング装着凹部12及びこの凹部の底部に吸着Vリング先端突出孔14を設け、上記吸着Vリング段差部21が当該吸着Vリング装着凹部12の底部に当接シールするように吸着Vリング2を挿入し、その裏面から押さえブラケット3を介して着脱自在の蓋体5にて密閉し、この吸着Vリング装着凹部12をエアー吸引手段に連通させた。

請求項（抜粋）：

弾性材からなるラッパ状の吸着Vリングの根元部外周に段差部を設け、当該吸着Vリングを取り付けるハンド側ベース部材に、当該吸着Vリング装着凹部及びこの凹部の底部に吸着Vリング先端突出孔を設け、上記吸着Vリング段差部が当該吸着Vリング装着凹部の底部に当接シールするように吸着Vリングを挿入し、その裏面から押さえブラケットを介して着脱自在の蓋体にて密閉し、この吸着Vリング装着凹部をエアー吸引手段に連通させたことを特徴とする板材搬送用吸着パッド構造。

IPC (2件)：

B25J 15/06 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

B25J 15/06 G ,  H01L 21/68 B

Fターム (14件)：

3C007AS24 ,  3C007FS01 ,  3C007FT08 ,  3C007FU00 ,  3C007NS09 ,  5F031CA01 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA24 ,  5F031GA25 ,  5F031GA33 ,  5F031PA06 ,  5F031PA07