特許

J-GLOBAL ID：200903070080331430

紫外線/赤外線カットフィルタ、及びその製造方法

発明者： 瀬戸口 一稔
出願人/特許権者： エプソントヨコム株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-280719
公開番号（公開出願番号）：特開2007-093804
出願日： 2005年09月27日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：

【課題】 製造が容易で、しかもウェハに反りが生じることなく、要求される分光特性を満足するUVIRカットフィルタを提供する。【解決手段】 水晶やガラス等からなる基板(ウェハ)1の出射面側に1層から52層の光学薄膜から成るUVIRコート2を形成するようにした。そしてウェハ1に成膜した52層のUVIRコート2のうち、1〜28層までは耐候性を挙げるためにイオンアシスト成膜により薄膜を成膜し、29層〜52層まではウェハ1に応力が生じないように、上記イオンアシスト成膜よりイオン化エネルギーは極めて低くした弱イオンアシスト成膜により、或いは一般的な加熱蒸着により薄膜を成膜するようにした。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ベース基材に複数の光学薄膜を積層して形成される紫外線/赤外線カットフィルタにおいて、 前記複数の光学薄膜を前記ベース基材の片面に形成すると共に、前記ベース基材の片面に形成した複数の光学薄膜の内、パスバンド領域を決定する光学薄膜がイオンアシスト成膜により成膜され、それ以外の光学薄膜が前記イオンアシスト成膜よりイオン化エネルギーを低くした弱イオンアシスト成膜或いは加熱蒸着により成膜されていることを特徴とする紫外線/赤外線カットフィルタ。

IPC (4件)：

G02B 5/28 ,  C23C 14/48 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/10

FI (4件)：

G02B5/28 ,  C23C14/48 D ,  C23C14/08 E ,  C23C14/10

Fターム (12件)：

2H048CA05 ,  2H048CA12 ,  2H048CA13 ,  2H048CA18 ,  2H048CA20 ,  4K029BA43 ,  4K029BA46 ,  4K029BC07 ,  4K029BC08 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029CA09

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 赤外線カットフィルタ付き光学ローパスフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-077718   出願人：キンセキ株式会社