特許

J-GLOBAL ID：200903070086618374

レーザ照射装置及び露光装置

発明者： 高田 淳
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-275360
公開番号（公開出願番号）：特開2000-105464
出願日： 1998年09月29日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：

【要約】【課題】 この発明は干渉縞による強度分布の不均一を低減できるようにしたレーザ照射装置を提供することにある。【解決手段】 高反射ミラー2と出力ミラー3とを所定間隔で対向させて配置した光共振器4と、この光共振器内に設けられた固体レーザロッド5およびこの固体レーザロッドを励起する励起ランプ6と、上記光共振器内に設けられ上記レーザ媒質が励起されることで上記出力ミラーから出力されるレーザ光を単一縦モード発振させるエタロン8と、このエタロンにより選択される波長が連続的に変化するよう上記エタロンを制御する制御装置14と、上記出力ミラーから出力されたレーザ光の強度分布を均一化させる光学均一化手段14とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

高反射ミラーと出力ミラーとを所定間隔で対向させて配置した光共振器と、この光共振器内に設けられたレーザ媒質およびこのレーザ媒質を励起する励起手段と、上記光共振器内に設けられ上記レーザ媒質が励起されることで上記出力ミラーから出力されるレーザ光を単一縦モード発振させる波長選択手段と、この波長選択手段により選択される波長が連続的に変化するよう上記波長選択手段を制御する制御手段と、上記出力ミラーから出力されたレーザ光の強度分布を均一化させる光学均一化手段とを具備したことを特徴とするレーザ照射装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 505 ,  G02B 5/28 ,  H01S 3/105

FI (3件)：

G03F 7/20 505 ,  G02B 5/28 ,  H01S 3/105

Fターム (15件)：

2H048AA19 ,  2H048AA25 ,  2H097BB01 ,  2H097BB02 ,  2H097CA17 ,  2H097EA03 ,  2H097LA10 ,  5F072AB02 ,  5F072AK01 ,  5F072JJ20 ,  5F072KK06 ,  5F072KK08 ,  5F072QQ02 ,  5F072RR03 ,  5F072YY09