特許
J-GLOBAL ID：200903070086898741
スピンコーター
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-206837
公開番号（公開出願番号）：特開平10-043665
出願日： 1996年08月06日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：
【要約】【課題】 薬液ミスト(レジストミスト等)がウェーハ表面に降下・付着することに伴う露光不良等のトラブルを解消することのできるスピンコーターを提供する。【解決手段】 本発明のスピンコーター1は、上面にウェーハ5を載せて高速回転するスピンヘッド7と、該ヘッド7の周囲を覆う薬液飛散防止カップ3と、を備えている。そして、スピンヘッド7上に浮遊する薬液ミスト6を含む空気を排出する排気口13が、スピンヘッド7上方の薬液飛散防止カップ3壁面に設けられている。
請求項（抜粋）：
上面に試料を載せて垂直軸回りに高速回転するスピンヘッドと、該スピンヘッドの周囲を覆う薬液飛散防止カップと、を備えたスピンコーターであって;スピンヘッド上に浮遊する薬液ミストを含む空気を排出する排気口が、スピンヘッド上方の薬液飛散防止カップ壁面に設けられていることを特徴とするスピンコーター。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B05C 11/08
, H01L 21/30 564 C
