特許
J-GLOBAL ID：200903070089975887
多結晶シリコンインゴットの切断方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-341452
公開番号（公開出願番号）：特開2004-174770
出願日： 2002年11月25日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：
【課題】切断面にクラックなどが生じない切断方法を提供する。【解決手段】一方向凝固させた多結晶シリコンインゴット4の複数箇所を切断する多結晶シリコンインゴット4の切断方法であって、上記多結晶シリコンインゴット4を凝固方向に対して先ず垂直に切断する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
一方向凝固させた多結晶シリコンインゴットの複数箇所を切断する多結晶シリコンインゴットの切断方法において、前記多結晶シリコンインゴットを凝固方向に対して先ず垂直に切断することを特徴とする多結晶シリコンインゴットの切断方法。
IPC (3件)：
B28D5/04
, H01L21/304
, H01L31/04
B28D5/04 B
, B28D5/04 D
, H01L21/304 611Z
, H01L31/04 H
3C069BA06
, 3C069CA04
, 3C069EA04
, 5F051AA03
, 5F051CB05
, 5F051CB30
