特許

J-GLOBAL ID：200903070090908883

終点検出装置、終点検出方法

発明者： 堀江 正浩 ,  近藤 教之
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-205356
公開番号（公開出願番号）：特開2000-033561
出願日： 1998年07月21日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】 薄膜加工時の終点を確実に検出することが可能な終点検出装置および終点検出方法を提供する。【解決手段】 薄膜加工が所定の程度にまで進んだ後に、複数(図9においては475nmおよび600nmの2つ)の波長光で照明した対象物の複数の画像を撮像する。各撮像画像の所定の画素の信号強度は、各波長に対応する相対反射率のそれぞれを表す。この各相対反射率が、あらかじめ求めておいた研磨加工の終点到達時の各波長に対応する相対反射率のそれぞれと全て一致した時点(t=100)で、所定の画素に対応する対象物上での位置における加工が終点に到達したと判断する。このように複数の波長に対して相対反射率が所定の値にまで達したことを確認するので、単一の波長(600nm)で判断する場合に、本来の加工終了時点以前の時点(t=80)において生じる誤判定を防止し、確実に終点を検出できる。

請求項（抜粋）：

所定の母材の表面上に薄膜が形成される対象物につき、前記薄膜の膜厚変化を伴う加工の終点を検出する終点検出装置であって、複数の特定の波長の光で前記対象物を照明する照明手段と、前記対象物からの反射光を受光して前記対象物の撮像画像を得る撮像手段と、前記撮像画像内の所定の画素における前記複数の特定の波長に対応する信号強度のそれぞれが、あらかじめ求めた終点到達時の前記複数の特定の波長に対応する信号強度のそれぞれと全て一致した際に、前記所定の画素に対応する前記対象物上での位置における加工が終点に到達したことを示す終点信号を出力する終点判定手段と、を備えることを特徴とする終点検出装置。

IPC (4件)：

B24B 37/04 ,  G01B 11/06 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

B24B 37/04 K ,  G01B 11/06 H ,  H01L 21/304 622 S ,  H01L 21/66 P

Fターム (40件)：

2F065AA30 ,  2F065AA53 ,  2F065BB02 ,  2F065BB03 ,  2F065BB17 ,  2F065CC03 ,  2F065CC18 ,  2F065CC19 ,  2F065CC31 ,  2F065CC32 ,  2F065DD09 ,  2F065FF01 ,  2F065GG23 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL22 ,  2F065LL62 ,  2F065NN06 ,  2F065PP02 ,  2F065PP13 ,  2F065PP18 ,  2F065QQ31 ,  3C058AA07 ,  3C058AC02 ,  3C058BA01 ,  3C058CB02 ,  3C058DA17 ,  4M106AA01 ,  4M106AA09 ,  4M106BA04 ,  4M106CA19 ,  4M106CA21 ,  4M106CA48 ,  4M106DA15 ,  4M106DH03 ,  4M106DH12 ,  4M106DH31 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ23