特許

J-GLOBAL ID：200903070092494555

放射分布検出用顕微鏡システム及びその操作方法

発明者： ラインハルト スタイナー ,  ディーター グレッフェ
出願人/特許権者： カール ツァイス イエナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 松田 省躬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-192066
公開番号（公開出願番号）：特開平10-213635
出願日： 1997年07月03日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】【課題】 多数のフィルターを必要とせず、短時間に正確に行え、かつコンパクトな、スペースを必要としない、特に小さい、弱光の対象物の場合のスペクトロメーターの限られた入光の放射分布検出用顕微鏡システムおよびその方法。【解決手段】 ミクロ発光する対象物からの放射が、中間結像なしに直接発散素子に到達し、その際、発散素子は例えば有利なブレーズ格子とし、それによってスペクトル中の分析される光を分光し、カメラチップ上に結像した離散的に存在して発光する対象物の光を、たとえば平行な光路内に(顕微鏡内へのフィルターの挿入)または直接カメラハウジング内(収束光)に取り付けられた発散素子を通過させ、これにより、光は屈折または回折により自身のスペクトル的構成部分に分解され、この構成部分が面受光部の様々なピクセル上に到達するようにした放射分布検出用顕微鏡システム。

請求項（抜粋）：

点状に発光する試料の放射分布を検出するための顕微鏡システムにおいて、特に集積回路の欠陥を分析する際、少なくとも1次元の受光分布の方向の試料の結像光路から成り、前記結像光路に少なくとも点状に放射された光をスペクトル分析するための素子が少なくとも1つ具備されている顕微鏡システム。

IPC (4件)：

G01R 31/302 ,  G01N 21/66 ,  G02B 21/00 ,  G03B 21/00

FI (4件)：

G01R 31/28 L ,  G01N 21/66 ,  G02B 21/00 ,  G03B 21/00