特許

J-GLOBAL ID：200903070093795095

光導波回路の製造方法

発明者： 服部 邦典 ,  大森 保治 ,  小野瀬 勝秀 ,  小熊 学
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-181158
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043653
出願日： 1994年08月02日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】 低融点ガラス材料によりコア部を作製する際のコアの変形と導波路サイズの制限を解決し、光導波路の形状によらず、再現精度の高い、石英系光導波路の製造方法を提供する。【構成】 断面が矩形のコア部が、その周囲をコア部よりも屈折率の低いクラッド部に囲まれた光導波回路の製造方法である。この方法は、1)下部クラッド層上にコア層を形成する工程と、コア層を矩形コア部に加工する工程と、コア部を中間クラッド層で埋め込む工程よりなる凸型導波路作製工程と、2)中間クラッド層に断面が矩形の溝を形成する工程と、溝にコア層を形成する工程と、コア層および中間クラッド層を所望の厚さになるまで除去する工程よりなる凹型導波路作製工程と、3)凸型導波路作製工程と凹型導波路作製工程を行った全領域を上部クラッド層で覆う工程よりなる。

請求項（抜粋）：

断面が矩形のコア部が、その周囲を前記コア部よりも屈折率の低いクラッド部に囲まれた光導波回路の製造方法において、1)下部クラッド層上にコア層を形成する工程と、前記コア層を断面が矩形のコア部に加工する工程と、前記コア部を中間クラッド層で埋め込む工程よりなる凸型導波路作製工程と、2)前記中間クラッド層に断面が矩形の溝を形成する工程と、前記溝にコア層を形成する工程と、前記コア層および中間クラッド層を所望の厚さになるまで除去する工程よりなる凹型導波路作製工程と、3)前記凸型導波路作製工程と凹型導波路作製工程を行った全領域を上部クラッド層で覆う工程よりなることを特徴とする光導波回路の製造方法。