流量調整装置及び流量調整方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-195225
公開番号（公開出願番号）：特開平9-042476
出願日： 1995年07月31日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【課題】流体が常時流入する処理空間から、流体を安定した流量で排出することができる流量調整技術を提供する。【解決手段】排気すべき空洞に連通する第1の流路を画定し、第1の内径の内周面部分を有する外管と、前記第1の内径よりも小さい第1の外径を有し、前記外管の内部に挿入される円柱状のニードルと、前記ニードルを前記外管内に挿入したときに、前記ニードルの前記第1の外径を有する外周面と前記外管の前記第1の内径を有する内周面との間に形成され、挿入量に応じてコンダクタンスが変化する円筒状の間隙を介して、前記排気すべき空洞に連通する第2の流路を画定する排気管とを有する。

請求項（抜粋）：

排気すべき空洞に連通する第1の流路を画定し、第1の内径の内周面を有する外管と、前記第1の内径よりも小さい第1の外径を有し、前記外管の内部に挿入される円柱状のニードルと、前記ニードルを前記外管内に挿入したときに、前記ニードルの前記第1の外径を有する外周面と前記外管の前記第1の内径を有する内周面との間に形成され、挿入量に応じてコンダクタンスが変化する円筒状の間隙を介して、前記排気すべき空洞に連通する第2の流路を画定する排気管とを有する流量調整装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特表昭51-766390
特開昭51-076639
特開昭55-145882

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