特許
J-GLOBAL ID:200903070100710122

金属試料表面の欠陥検査方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高矢 諭 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-335982
公開番号(公開出願番号):特開2000-162150
出願日: 1998年11月26日
公開日(公表日): 2000年06月16日
要約:
【要約】【課題】 金属試料の表面から接触疵を確実に検出できるようにする。【解決手段】 金属試料表面を3つの異なる仰角から照明して上方より撮影し、得られた各仰角の画像データにそれぞれR、G、Bを割当てた3つの画像データからRGBカラー画像を合成し、該合成画像のR、G、Bの色合いから欠陥を検査する際、最大仰角から照明して撮影した画像を抜き出し、該画像を通常の金属試料表面Aの輝度より高い閾値SLで2値化し、該2値化画像に基づいて欠陥Bを判定する。
請求項(抜粋):
金属試料表面を3つの異なる仰角から照明して上方より撮影し、得られた各仰角の画像データにそれぞれR、G、Bを割当てた3つの画像データからRGBカラー画像を合成し、該合成画像のR、G、Bの色合いから欠陥の検査を行う金属試料表面の欠陥検査方法であって、最大仰角から照明して撮影した画像を抜き出し、該画像を通常の金属試料表面の輝度より高い閾値で2値化し、該2値化画像に基づいて欠陥を判定することを特徴とする金属試料表面の欠陥検査方法。
IPC (2件):
G01N 21/89 ,  G01N 21/88
FI (2件):
G01N 21/89 610 B ,  G01N 21/88 J
Fターム (19件):
2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BB03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051EA11 ,  2G051EA17 ,  2G051EA25 ,  2G051EB01 ,  2G051EB05 ,  2G051EC03 ,  2G051ED01 ,  2G051ED03 ,  2G051ED04 ,  2G051ED07 ,  2G051ED15
引用特許:
審査官引用 (7件)
  • 照明装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-153949   出願人:松下電器産業株式会社
  • 検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-151606   出願人:オムロン株式会社
  • 疵検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-002055   出願人:新日本製鐵株式会社
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