特許
J-GLOBAL ID:200903070115234564

半導体装置製造用の石英製装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡本 啓三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-060342
公開番号(公開出願番号):特開平6-069145
出願日: 1993年03月19日
公開日(公表日): 1994年03月11日
要約:
【要約】【目的】本発明は、半導体装置を製造する際に用いられる炉心管、ウェハボート、スティック等の石英製装置に関し、変形し難く、かつ、外部の金属汚染を十分に抑制することを目的とする。【構成】半導体ウェハWの周囲の雰囲気に触れる第一の石英層2と、前記第一の石英層2に含有される量よりも少ない水酸基を含み、前記雰囲気に接しない部分に形成される第二の石英層3とを有すことを含む。
請求項(抜粋):
半導体ウェハ(W)の周囲の雰囲気に触れる第一の石英層(2、6、9、24)と、前記第一の石英層(2、6、9、24)に含有される量よりも少ない水酸基を含み、前記雰囲気に接しない部分に形成される第二の石英層(3、5、8、22)とを有すことを特徴とする半導体装置製造用の石英製装置。
IPC (2件):
H01L 21/22 ,  C03C 3/06
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 特開平2-107015
  • 特開昭62-268129
  • 特開平1-291510
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