特許
J-GLOBAL ID：200903070115234564
半導体装置製造用の石英製装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-060342
公開番号（公開出願番号）：特開平6-069145
出願日： 1993年03月19日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】本発明は、半導体装置を製造する際に用いられる炉心管、ウェハボート、スティック等の石英製装置に関し、変形し難く、かつ、外部の金属汚染を十分に抑制することを目的とする。【構成】半導体ウェハWの周囲の雰囲気に触れる第一の石英層2と、前記第一の石英層2に含有される量よりも少ない水酸基を含み、前記雰囲気に接しない部分に形成される第二の石英層3とを有すことを含む。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハ(W)の周囲の雰囲気に触れる第一の石英層(2、6、9、24)と、前記第一の石英層(2、6、9、24)に含有される量よりも少ない水酸基を含み、前記雰囲気に接しない部分に形成される第二の石英層(3、5、8、22)とを有すことを特徴とする半導体装置製造用の石英製装置。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
