特許

J-GLOBAL ID：200903070116468518

単結晶成長装置における材料搬送方法

発明者： 桜田 晋一
出願人/特許権者： 住友シチックス株式会社
代理人 (1件)： 生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-336309
公開番号（公開出願番号）：特開平8-175894
出願日： 1994年12月22日
公開日（公表日）： 1996年07月09日
要約：

【要約】【目的】 単結晶成長装置の組立・解体時にヒータ50、ルツボ60等のチャンバー内の装置構成材料の搬送を機械的に能率よく行う。その場合の装置コストの上昇を抑える。【構成】 チャンバー10の機械的に駆動される上部チャンバー11を下部チャンバーから分離し、両者を着脱自在に連結する。組立・解体時に下部チャンバーを上部チャンバー11から切り離し、上部チャンバー11の下部または単結晶引き上げ用ワイヤー30の下端にヒータ50、ルツボ60等の下部チャンバー内の装置構成材料や単結晶材料を吊り下げる。上部チャンバー11を駆動して、該装置構成材料や単結晶材料の装置内外間の搬送を行う。

請求項（抜粋）：

チャンバーが上下方向に2部分以上に分割可能であり、その少なくとも最上部を含む1または複数のチャンバーが上下および/または側方に移動可能である単結晶成長装置において、装置の組立および解体の際に、チャンバー内に配置する装置構成材料や単結晶材料を前記の可動チャンバーに取り付け、前記装置構成材料や単結晶材料を装置内外に搬送することを特徴とする単結晶成長装置における材料搬送方法。