搬送室に対するエアロックゲート式マスク出し入れ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-009451
公開番号（公開出願番号）：特開平7-305169
出願日： 1994年01月31日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】基板に対するマスクの着脱を成膜装置の真空領域内で行なえるように一連の成膜周期毎にロックゲートを介してマスクを出し入れ可能にする。【構成】プッシュロッド14が基板20の平面に対して直角方向に配置され該プッシュロッドの縦軸線方向に対して直角な方向に可動のスライダ41と協働するようにし、スライダのヘッド部分43が二又状に成形されて前記マスク15の鍔47を緊締把持可能であり、前記スライダが、前進運動時に第2のエアロック室39内の起点位置からプッシュロッドの運動経路まで接近移動可能かつ戻り運動時にはマスクを第2のエアロック室内へ搬送可能に配置され、第1と第2のエアロック室間に、両エアロック室を隔離するフラップ型ロックゲート38が設けられ、マスクを搬出するために第2のエアロック室には別のプッシュロッド48が配設されている。

請求項（抜粋）：

受容用の盲孔(32)を有するマスク(15,15′,...)を保持して搬送するために第1のエアロック室(42)内に摺動可能に支承されていて基板(20)の平面内にまで運動可能なプッシュロッド(14)を備えた形式の、扁平な円環ディスク状の基板(20)用のマスク(15,15′,...)を真空成膜装置の搬送室(3,4)に対してエアロックゲート式に出し入れする装置において、プッシュロッド(14)が基板(20)の平面に対して直角方向に配置されかつ該プッシュロッド(14)の縦軸線の方向に対して直角な方向に可動のスライダ(41)と協働するように構成されており、該スライダのヘッド部分(43)が二又状に成形されていて前記マスク(15,15′,...)の鍔(47)に被せ嵌められて該鍔を緊締把持するように構成されており、しかも前記スライダ(41)が、前進運動時に第2のエアロック室(39)内の起点位置から前記プッシュロッド(14)の運動経路まで接近移動可能かつ前記スライダ(41)の戻り運動時には前記マスクを前記第2のエアロック室(39)内へ搬送可能に配置されており、前記の第1と第2のエアロック室(39と42)との間に、両エアロック室を互いに密閉隔離するフラップ型ロックゲート(38)が設けられており、該フラップ型ロックゲート(38)の密閉時に前記第2のエアロック室(39)から前記マスクを搬出するために第2のエアロック室には別のプッシュロッド(48)が配設されていることを特徴とする、搬送室に対するエアロックゲート式マスク出し入れ装置。

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