特許
J-GLOBAL ID：200903070134173703
微細位置決め装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-141621
公開番号（公開出願番号）：特開平5-335199
出願日： 1992年06月02日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】 慣性力等の外力が作用した場合にテーブルに発生する振動を低減することができる微細位置決め装置を提供すること。【構成】 並進変位を発生させる平行たわみ梁変位機構9Fxa〜10Fybや回転変位を発生させる放射たわみ梁変位機構15θza,15θzbを備え、上部にテーブル2を取り付けた微細位置決め装置において、振動の発生原因となる特定方向(z軸方向)の荷重に対して高い剛性を有するとともに変位を発生させる方向にその変位を妨げないように自由に変形し得る複数のヒンジ18a,18b,18c,18dを、テーブル2とベース17との間に、テーブル2の取り付け部16よりも外側の部位で連結する。
請求項（抜粋）：
1つの平面内の任意の一軸方向の並進変位を発生させる変位機構、前記平面内において前記軸と直交する軸方向の並進変位を発生させる変位機構、および前記各軸のそれぞれと直交する軸まわりの回転変位を発生させる変位機構のうちの少なくとも一つの変位機構と、当該変位機構により変位せしめられるテーブルとを備え、ベースに固定された微細位置決め装置において、前記ベースと前記テーブルにおける取付け部より外側の位置との間に、前記平面と直交する軸方向の荷重に対して高い剛性を有するとともに変位を発生させる方向に対してその変位を妨げないように自由に変形し得るヒンジを複数連結したことを特徴とする微細位置決め装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 9/00
, H01J 37/20
, H01L 21/68
