特許

J-GLOBAL ID：200903070136657171

半導体製造装置

発明者： 尾崎 慶太
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 石戸 久子 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-132586
公開番号（公開出願番号）：特開2000-320794
出願日： 1999年05月13日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 作業者が目視することができない側の扉に安全確認をする人を置かなくても、作業者一人で安全を確保しつつ作業を行えるようにする。【解決手段】 正面扉34及び背面扉36に扉開閉スイッチ50及び52を設け、扉の開閉状態を機構部用コントローラに入力する。機構部用コントローラには、調整用ターミナル38又は40の接続ポート42又は接続ポート44への接続状態も入力され、上記信号により、正面扉34及び背面扉36が開いておりかつ調整用ターミナル38又は40が接続されていない場合は、接続されていない側の機構部を停止状態にし、両扉34及び36が閉まっており、どちらかの調整用ターミナル38又は40が接続されている場合は全ての機構を作動可能とする。

請求項（抜粋）：

一方の扉の位置からでは他の扉の状態を目視できないような2カ所以上の位置に扉を有し、それぞれの扉付近に機構動作を制御する操作部が設けられている半導体製造装置であって、それぞれの扉の開閉状態により、作動可能な機構の範囲を制限することができることを特徴とする半導体製造装置。