特許

J-GLOBAL ID：200903070139322332

感光性エレメント、これを用いたレジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法

発明者： 久保田 雅夫 ,  板垣 勝俊
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (2件)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-067174
公開番号（公開出願番号）：特開2004-279479
出願日： 2003年03月12日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【課題】通常の現像方法における過現像によるレジストパターンのラインの欠落が十分に防止され、密着性及び解像度の優れた感光性エレメントを提供すること。【解決手段】被着体上に積層される感光性樹脂組成物層を支持フィルム上に備える感光性エレメントであって、前記支持フィルムは、前記感光性樹脂組成物層に隣接するアルカリ水溶液に可溶な可溶性樹脂層と、前記被着体上に積層する際に前記可溶性樹脂層から剥離可能な樹脂フィルム層と、からなり、前記感光性樹脂組成物層の膜厚は、1〜20μmであることを特徴とする感光性エレメント。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

被着体上に積層されるべき感光性樹脂組成物層を支持フィルム上に備える感光性エレメントであって、 前記支持フィルムは、前記感光性樹脂組成物層に隣接するアルカリ水溶液に可溶な可溶性樹脂層と、前記被着体上に積層する際に前記可溶性樹脂層から剥離可能な樹脂フィルム層と、からなり、 前記感光性樹脂組成物層の膜厚は、1〜20μmであることを特徴とする感光性エレメント。

IPC (5件)：

G03F7/11 ,  G03F7/004 ,  G03F7/033 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

FI (5件)：

G03F7/11 501 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/033 ,  H05K3/06 J ,  H05K3/18 D

Fターム (35件)：

2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025CA01 ,  2H025CA20 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB16 ,  2H025CB43 ,  2H025CB51 ,  2H025DA02 ,  2H025DA19 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA40 ,  2H025FA43 ,  5E339BD11 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE14 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E343CC63 ,  5E343DD32 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG08