特許
J-GLOBAL ID：200903070149655364
判定基準の動的変更可能な半導体測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上野 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-331644
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163063
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】本発明の目的は、ウエハの検査等に用いられる半導体パラメトリック・テスタにおいて、検査プロセスを中止せずに、合否判定基準を変更できるようにし、測定のやりなおしを減少させること。【解決手段】測定プログラム中、測定結果を判定するビニングの範囲を決めるリミット値を、検査実行中に変更することができる手段を設けた。これにより、検査の中断やりなおしという時間のかかる工程を減少させることができ、検査効率の向上に貢献できる。
請求項（抜粋）：
ウエハ上の半導体回路素子に対するプロービングを行うプローバと、該プローバからに信号を供給しもしくは測定信号を受けるテスタ本体と、前記プローバおよび前記テスタ本体の制御を行うコンピュータと、該コンピュータを動作させ装置全体の制御を行う測定プログラムとを具備する半導体測定装置において、測定結果に基づく前記ウエハ上の半導体回路素子の合否判定の条件の変更を、前記ウエハの測定の実行中に行う手段を設けたことを特徴とする判定基準の動的変更可能な半導体測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 B
, G01R 31/26 G
