特許
J-GLOBAL ID：200903070152612447
感放射線性樹脂組成物
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-337093
公開番号（公開出願番号）：特開平8-184965
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 溶解性、解像度、感度、露光後焼成の条件に対するパターン形状の安定性等に優れた化学増幅型レジストとして有用なポジ型またはネガ型の感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 ポジ型感放射線性樹脂組成物は、(1-1) 下記式で代表されるN,N’-ビス(スルホニルオキシ)-ビス(ジカルボキシミド)化合物(a)および酸解離性基含有樹脂を含有するか、(1-2) 前記化合物(a)、アルカリ可溶性樹脂および溶解制御剤を含有し、またネガ型感放射線性樹脂組成物は、(2)前記化合物(a)、アルカリ可溶性樹脂および架橋剤を含有する。【化1】
請求項（抜粋）：
(A)下記式(1)または(2)で表されるN,N’-ビス(スルホニルオキシ)-ビス(ジカルボキシミド)化合物の少なくとも1種、並びに(B)(イ)酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、または(ロ)アルカリ可溶性樹脂、および該アルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を制御する性質を有し、酸の存在下で分解されて、該アルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を制御する作用を低下もしくは消失させるか、あるいは該アルカリ可溶性樹脂のアルカリ溶解性を促進させる作用を発現する化合物を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/038 505
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/039 501
, H01L 21/027
