特許

J-GLOBAL ID：200903070154248220

アライメント方法、アライメント装置、基板、マスク、及び露光装置

発明者： 萩原 恒幸
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 前田 均 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-369304
公開番号（公開出願番号）：特開2001-185474
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】 アライメントマークの検出を高速化し、スループットを向上する。【解決手段】 基板上で配列方向(X軸方向)に直交する方向(Y軸方向)に位置ずれした状態で互いに反転するように配列形成された第1マーク要素(m11〜m15)及び第2マーク要素(m21〜m26)を含むマーク(AM)をその配列方向に電気光学的に走査して、前記第1及び第2マーク要素の前記配列方向に関して強度変化する第1及び第2光強度信号を検出するステップと、前記第1光強度信号と前記第2光強度信号とを加算して得られる第3光強度信号に基づいて前記マークの位置情報を特定するステップとを備えて構成される。

請求項（抜粋）：

基板の姿勢を所定の基準に整合させるアライメント方法であって、前記基板上で配列方向に直交する方向に位置ずれした状態で互いに反転するように配列された第1及び第2マーク要素を含むマークをその配列方向に電気光学的に走査して、前記第1及び第2マーク要素の前記配列方向に関して強度変化する第1及び第2光強度信号を検出するステップと、前記第1光強度信号と前記第2光強度信号とを加算して得られる第3光強度信号に基づいて前記マークの位置情報を特定するステップと、を備えたことを特徴とするアライメント方法。

IPC (8件)：

H01L 21/027 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/00 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/23 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68 ,  H05K 1/02

FI (10件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/00 H ,  G01B 11/00 B ,  G01B 11/00 G ,  G03F 1/08 N ,  G03F 7/23 H ,  G03F 9/00 A ,  H01L 21/68 F ,  H05K 1/02 R ,  H01L 21/30 525 F

Fターム (97件)：

2F064AA02 ,  2F064AA04 ,  2F064BB01 ,  2F064CC10 ,  2F064FF01 ,  2F064GG12 ,  2F065AA03 ,  2F065AA06 ,  2F065AA20 ,  2F065AA39 ,  2F065BB02 ,  2F065BB18 ,  2F065BB28 ,  2F065CC20 ,  2F065CC25 ,  2F065EE00 ,  2F065FF10 ,  2F065FF42 ,  2F065FF51 ,  2F065GG02 ,  2F065GG24 ,  2F065HH05 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065LL50 ,  2F065LL53 ,  2F065LL65 ,  2F065MM16 ,  2F065MM22 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ42 ,  2H095BA02 ,  2H095BE03 ,  2H095BE08 ,  2H097AB09 ,  2H097GB01 ,  2H097KA03 ,  2H097KA13 ,  2H097KA15 ,  2H097KA20 ,  2H097KA29 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5E338AA01 ,  5E338DD11 ,  5E338DD18 ,  5E338DD32 ,  5E338DD40 ,  5E338EE31 ,  5E338EE33 ,  5E338EE42 ,  5F031CA04 ,  5F031CA07 ,  5F031JA03 ,  5F031JA06 ,  5F031JA12 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA38 ,  5F031JA50 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031KA11 ,  5F031KA20 ,  5F031MA27 ,  5F046BA04 ,  5F046CC01 ,  5F046CC04 ,  5F046CC05 ,  5F046CC16 ,  5F046EA03 ,  5F046EA09 ,  5F046EB01 ,  5F046ED02 ,  5F046FA03 ,  5F046FA10 ,  5F046FA11 ,  5F046FA20 ,  5F046FB16 ,  5F046FC04 ,  5F046FC06