特許

J-GLOBAL ID：200903070157090902

狭帯域レーザ用波長モニタ

発明者： 杉立 厚志 ,  中谷 元 ,  若田 仁志
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-227194
公開番号（公開出願番号）：特開平5-067821
出願日： 1991年09月06日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：

【要約】【目的】 この発明は、例えば高い波長精度と波長安定性を要求されるステッパ用エキシマレーザの狭帯域レーザの中心波長を高精度で安定して測定できる狭帯レーザ用波長モニタを得ることを目的とする。【構成】 エアーギャップ型のファブリペローエタロン1は、線膨張率が5×10-7以下の材料で構成されたスペーサ2で所定ギャップ長に保たれている。このエアーギャップ型のファブリペローエタロン1は、不活性ガス4が封入された気密容器5内に収納されている。エアーギャップ型のファブリペローエタロン1の入射側および出力側には、散乱板11および色消しフーリエ変換凸レンズ22が配設されている。リニアイメージセンサ10は色消しフーリエ変換凸レンズ22の焦点距離に位置し、入射光線6、7のフリンジ9を検出する。

請求項（抜粋）：

狭帯域レーザの中心波長をモニタする狭帯域レーザ用波長モニタにおいて、気密容器と、前記気密容器内に収納され、線膨張率が5×10-7以下の材料で構成されたスペーサを有するエアーギャップ型のファブリペローエタロンとを備えたことを特徴とする狭帯域レーザ用波長モニタ。

IPC (2件)：

H01S 3/00 ,  H01S 3/137

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-271689
  
• 特開平2-246179
  
• 特開昭63-247703