特許

J-GLOBAL ID：200903070167466064

窒化珪素質耐熱部材およびその製造方法

発明者： 田島 健一 ,  内村 英樹
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-118410
公開番号（公開出願番号）：特開平7-330436
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：

【要約】【構成】少なくとも珪素粉末と周期律表第3a族元素化合物を含む成形体を窒素を含む雰囲気で熱処理して前記珪素を窒化した後、焼成することにより得られた窒化珪素質焼結体からなる耐熱部材であって、該耐熱部材が焼き肌面を有し、該焼き肌面における最大ボイド径が30μm以下の耐熱部材を得るもので、特に周期律表第3a族元素化合物がLu(ルテチウム)化合物を含み、且つ焼結体表面の粒界にダイシリケート相などの周期律表第3a族元素、珪素および酸素からなる結晶相が存在することを特徴とする。【効果】寸法精度が要求される耐熱部材において、焼き肌面の高温強度、耐酸化性、耐クリープ特性を向上することができる。

請求項（抜粋）：

少なくとも珪素粉末と周期律表第3a族元素化合物を含む成形体を窒素を含む雰囲気で熱処理して前記珪素を窒化した後、焼成することにより得られた窒化珪素質焼結体からなる耐熱部材であって、該耐熱部材が焼き肌面を有し、該焼き肌面における最大ボイド径が30μm以下であることを特徴とする耐熱部材。

FI (2件)：

C04B 35/58 102 C ,  C04B 35/58 102 T

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-048468
  
• 特開昭64-052678
  
• 特開昭63-100067
  
• 特開平4-006160