特許
J-GLOBAL ID：200903070168866910
流量・流速センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-080444
公開番号（公開出願番号）：特開平5-248909
出願日： 1992年03月02日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】 伝導熱による基板の温度上昇を抑えつつ、高い応答性をもって精度よく流体の流量・流速を検出する。【構成】 基板3を熱伝導率の低い材料から形成し、各温度検出部5,6の先端側を熱伝導率の高い材料からなる温度伝達用皮膜9で覆う構成とした。そして、上流側から下流側に向けて矢示A方向に排気ガスが流れると、ヒータ部4により形成された温度分布が流速に応じて下流側にシフトし、各温度検出部5,6はこの温度変化を温度伝達用皮膜9を介して検出する。また、基板3の外面側とケーシング1との間には断熱層が設けられ、基板3自身の熱伝導率と断熱層とによって、該基板3が排気管2からの伝導熱によって温度上昇するのが防止される。
請求項（抜粋）：
ケーシングと、該ケーシング内に先端側が外部に突出するようにして設けられ、熱伝導率の低い材料から形成された基板と、該基板に設けられたヒータ部と、該ヒータ部の両側に位置して前記基板に設けられ、温度に応じた検出信号をそれぞれ出力する一側温度検出部,他側温度検出部と、該各温度検出部を覆うようにして前記基板の先端側に設けられ、熱伝導率の高い材料から形成された温度伝達用皮膜とから構成してなる流量・流速センサ。
IPC (2件)：
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