特許
J-GLOBAL ID：200903070175268549
サーマルヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-195055
公開番号（公開出願番号）：特開平10-034989
出願日： 1996年07月24日
公開日（公表日）： 1998年02月10日
要約：
【要約】【課題】 サーマルヘッドおいて、保護層として硬質カーボンを用いた場合に、剥離等の問題が生じない安定した膜形成をいかに行うかが課題となっていた。【解決手段】 本発明のサーマルヘッドは、基板101上にグレーズガラス層102、発熱抵抗層103、コモンリードパターン104及び個別リードパターン105を設け、その上に保護層としてSiO2膜106a、SiC膜106b、硬質カーボン膜106cが積層されている。硬質カーボン膜をSiC膜上に積層したので、硬質カーボン膜に発生する応力が緩和されて剥離が防止されるとともにダイアモンドライク構造が形成し易くなる。
請求項（抜粋）：
熱記録を行うための発熱抵抗体及び導体電極を積層した基板と、前記発熱抵抗体及び前記導体電極を覆うように積層された保護層とを含むサーマルヘッドにおいて、前記保護層は、炭素系材料からなる層及び該層に積層された炭素からなる硬質の最外層を有することを特徴とするサーマルヘッド。
引用特許：
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