特許
J-GLOBAL ID：200903070176125830
VLSIプロセスのデータ解析支援システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川口 義雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-337724
公開番号（公開出願番号）：特開平6-188405
出願日： 1992年12月18日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】【目的】 システム利用者が要求するデータ解析について柔軟に対応できるVLSIプロセスのデータ解析支援システムを提供することにある。【構成】 データ解析処理は、5つのステップS13〜S17から成り立つ。ステップS13では、解析に用いるデータをデータベースから抽出する。ステップS14では、抽出されたデータに対しての測定異常値の削除やモデル式によるデータの導出といったデータ加工演算を行う。ステップS15ではデータベースより抽出されたデータまたはデータ加工演算処理されたデータに対してのグラフ化や回帰分析といったデータ統計処理を行う。ステップS16では上述した処理によって得られた結果に対する考察を行う。ステップ17では、データ解析を継続するかテストする。
請求項（抜粋）：
VLSIプロセスにおいて収集される工程処理データ、工程後測定データ及び電気的特性をデータベースへ登録する登録手段と、データ解析に用いるデータを前記データベースから抽出する抽出手段と、前記抽出されたデータに対してデータ加工演算を行うデータ加工手段と、前記データベースより抽出されたデータまたは前記データ加工演算されたデータに対してのデータ統計手段とを具備することを特徴とするVLSIプロセスのデータ解析支援システム。
IPC (2件)：
H01L 29/00
, G06F 12/00 510
