電子ビーム走査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-295907
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251316
出願日： 1992年11月05日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】隣接する照射領域からの反射電子の飛び込みを積極的に回避し、あるいは、飛び込みに起因するS/N比の悪化を補償して検出精度を十分に高めることを目的とする。【構成】先端が鋭く尖った微細電極と該微細電極の先端部を取り囲むようにして配置されたゲートとをペアにしてマトリクス状に配列する多数の電子エミッタ部と、前記電子エミッタ部ごとの収束電極、偏向電極及び検出器とを備え、各電子エミッタ部からの電子ビームを平行且つ同時に引出して試料表面に照射し、試料表面からの反射電子または2次電子を電子ビームごとに前記検出器の検知面で捕捉し、該捕捉反射電子の量または捕捉2次電子の量に基づいて試料表面の状態を検査する電子ビーム走査装置において、前記試料表面と検知面との間であって、且つ、前記試料表面から検知面までの距離と検知面のサイズとから割り出される所定位置に、電子ビームの軸と開口中心が一致する所定内径の穴開きマスクを配置したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

先端が鋭く尖った微細電極と該微細電極の先端部を取り囲むようにして配置されたゲートとをペアにしてマトリクス状に配列する多数の電子エミッタ部と、前記電子エミッタ部ごとの収束電極、偏向電極及び検出器とを備え、各電子エミッタ部からの電子ビームを平行且つ同時に引出して試料表面に照射し、試料表面からの反射電子または2次電子を電子ビームごとに前記検出器の検知面で捕捉し、該捕捉反射電子の量または捕捉2次電子の量に基づいて試料表面の状態を検査する電子ビーム走査装置において、前記試料表面と検知面との間であって、且つ、前記試料表面から検知面までの距離と検知面のサイズとから割り出される所定位置に、電子ビームの軸と開口中心が一致する所定内径の穴開きマスクを配置したことを特徴とする電子ビーム走査装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G01B 15/00 , G01R 31/302 , H01J 37/305

FI (3件)：

H01L 21/30 341 B , G01R 31/28 L , H01L 21/30 341 W

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