特許

J-GLOBAL ID：200903070197276677

斜入射干渉計

発明者： 作田 博伸
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-173768
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004336
出願日： 1999年06月21日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】簡単な構成で、被測定面の全面にわたって正確に位相差を検出することのできる斜入射干渉計を提供する。【解決手段】光源100と、光源100からの光を参照光束105と測定光束106とに分離し、測定光束106を被測定面113に向けて斜入射させる分離部104と、被測定面113からの反射光束と参照光束105とを重ね合わせて干渉させる干渉部108と、参照光束105の位相を変調させる位相変調部109とを有する。

請求項（抜粋）：

光源と、前記光源からの光を参照光束と測定光束とに分離し、前記測定光束を被測定面に向けて斜入射させる分離部と、前記被測定面からの反射光束と前記参照光束とを重ね合わせて干渉させる干渉部と、前記参照光束の位相を変調させる位相変調部とを有することを特徴とする斜入射干渉計。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01B 9/02

FI (2件)：

G01B 11/24 D ,  G01B 9/02

Fターム (25件)：

2F064AA09 ,  2F064BB07 ,  2F064CC04 ,  2F064EE01 ,  2F064FF01 ,  2F064GG21 ,  2F064GG49 ,  2F064GG51 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065CC03 ,  2F065CC18 ,  2F065CC19 ,  2F065DD03 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL42 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU07