特許
J-GLOBAL ID:200903070205759763

双方向非線形抵抗素子の製造方法および液晶表示パネルの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-243626
公開番号(公開出願番号):特開平5-080356
出願日: 1991年09月24日
公開日(公表日): 1993年04月02日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、所定のパターンを持った電極1上に絶縁性の高い有機電解重合膜2を電解重合法により成膜した後、電極3を形成した導電体/絶縁体/導電体という構造の双方向非線形抵抗素子(MIM素子)および該素子を組み込んだ液晶表示パネルの製造方法において、該素子のコンデンサー容量および抵抗の最適化を容易に行う方法を提供する。【構成】 素子の小サイズ化により素子を高抵抗化し、かつ該素子と液晶のコンデンサー容量の比が適正になるように、MIM素子と並列にコンデンサーをつくり込む。さらに該並列コンデンサーを液晶配向膜としても用いることにより、該MIM素子を組み込んだアクティブマトリクス液晶パネル製造時の工程の短縮化を行う。
請求項(抜粋):
基板上に所定のパターンを持った電極1を形成し、該電極1上に絶縁性の高い有機電解重合膜2を電解重合法により成膜し、電極1の材料と同じか、あるいは異なる導電体を所定のパターンをもって有機電解重合膜2上に形成した電極3を有する、導電体1/絶縁体(有機電解重合膜2)/導電体3という構造のスイッチング用非線形抵抗素子の製造方法において、有機電解重合膜2と電気的に並列にコンデンサーをつくり込むことを特徴とする双方向非線形抵抗素子の製造方法。
IPC (2件):
G02F 1/136 510 ,  H01L 49/02

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