金属蒸気放電灯の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-144419
公開番号（公開出願番号）：特開平8-339760
出願日： 1995年06月12日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【目的】発光管の内面に化学的に安定な窒化膜の形成すること。【構成】まず、発光管の内面に窒化珪素(Si3 N4 )膜を形成する。その方法は、ガス導入管7a及びガス排気管7bが設けられた管体1を、電気炉8の中に入れて800°Cに加熱し、ガス導入管7aよりキャリアガスとしての窒素と、1%(容積比)のアンモニアおよび0.05%(容積比)のモノシランからなる混合ガスとを流入し、ガス排気管7bよりその一部を流出させながら行なう。次に、再びガス導入管7aより、キャリアガスである窒素とアンモニアガスを導入し、窒化処理を行ない化学量論比に近い組成を有する窒化膜とする。

請求項（抜粋）：

発光管の内面に窒化膜を形成してなる金属蒸気放電灯の製造において、前記窒化膜を形成した後、窒化処理を施し化学量論比に近い組成を有する窒化膜としたことを特徴とする金属蒸気放電灯の製造方法。

IPC (2件)：

H01J 9/20 , H01J 61/35

FI (2件)：

H01J 9/20 B , H01J 61/35 C

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭51-036788
特開昭51-036788
特開平3-248427

全件表示

前のページに戻る