特許
J-GLOBAL ID：200903070218302070
単結晶製造用原料供給方法及び装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-248143
公開番号（公開出願番号）：特開平6-100394
出願日： 1992年09月17日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：
【要約】【目的】シリコン単結晶育成炉内の原料溶解部へ十分加熱された粒状シリコン原料を供給することができ、シリコン単結晶育成の安定化に寄与することができる単結晶製造用原料供給方法及び装置を提供することを目的とする。【構成】シリコン単結晶育成炉に粒状シリコン原料を連続的に供給する単結晶製造用原料供給装置であって、粒状シリコン原料16を貯蔵する貯蔵容器18と、貯蔵容器18から排出された粒状シリコン原料をシリコン単結晶育成炉に向けて供給するためのフィーダー21と、フィーダー21からの粒状シリコン原料16をシリコン単結晶育成炉に導く流路24と、貯蔵容器から排出された粒状シリコン原料16に直接熱エネルギーを照射して加熱する加熱機構23とを具備する。
請求項（抜粋）：
シリコン単結晶育成炉に粒状シリコン原料を連続的に供給する単結晶製造用原料供給方法であって、貯蔵容器に貯蔵された粒状シリコン原料を連続的に排出する工程と、排出された粒状シリコン原料に直接熱エネルギーを照射して粒状シリコンを連続的に加熱する工程と、加熱された粒状シリコン原料を連続的にシリコン単結晶育成炉に供給する工程とを有することを特徴とする単結晶製造用原料供給方法。
IPC (3件)：
C30B 15/02
, C30B 29/06 502
, H01L 21/208
