特許

J-GLOBAL ID：200903070225927743

真空排気システム

発明者： 野路 伸治 ,  新村 恵弘 ,  杉浦 哲郎 ,  野村 典彦 ,  松岡 祐二
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-148544
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073078
出願日： 1997年05月22日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】 真空ポンプの長寿命化、プロセスガスの再利用、排ガス処理装置の小容量化によって、運転の信頼性の向上、設備や運転コストの低減を図ることができる真空排気システムを提供する。【解決手段】 気密のチャンバ10とチャンバ10を排気するための真空ポンプ12とを連通する配管14に、少なくとも2つ以上の温度の異なるトラップ16,18が直列に配置されている。

請求項（抜粋）：

気密のチャンバと該チャンバを排気するための真空ポンプとを連通する配管に、少なくとも2つ以上の温度の異なるトラップが直列に配置されていることを特徴とする真空排気システム。

IPC (5件)：

F04B 37/16 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/02

FI (5件)：

F04B 37/16 C ,  C23C 16/44 D ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 真空排気方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-213765   出願人：株式会社日本製鋼所
• 微細加工装置における排気方式
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-224700   出願人：テル・バリアン株式会社