特許
J-GLOBAL ID：200903070227207241
走査型トンネル顕微鏡における画像表示方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-225353
公開番号（公開出願番号）：特開平6-050708
出願日： 1992年08月01日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡における画像表示方法で、試料表面の断面像を最適な演算で作成し、かつ正確な形状の断面図を表示する。【構成】 試料表面の凹凸形状をトンネル電流を利用して測定し、凹凸形状の高さに関する測定データを処理して凹凸形状を表示画面に表示する走査型トンネル顕微鏡であり、測定データを2次元の配列で作成するステップと、2次元の配列を平均平面が基準面に平行になるように傾斜補正するステップと、2次元の配列を用いて凹凸形状の濃淡図を表示するステップと、濃淡図において断面図が必要である2点を指定するステップと、2点の間に存在する測定データを2次元の配列から取出して1次元の配列を作成するステップと、前記1次元の配列に対して所定角度で傾斜補正するステップと、傾斜補正された1次元の配列を用いて前記2点間の断面図を表示するステップとから構成される。所定角度は、凹凸形状を有する試料面の平均平面と基準面とがなす角度である。
請求項（抜粋）：
試料表面の凹凸形状を探針・試料間に流れるトンネル電流を利用して測定する手段と、前記凹凸形状の高さに関する測定データを処理して前記凹凸形状を表示画面に表示する手段を有する走査型トンネル顕微鏡における画像表示方法において、立体である前記凹凸形状に関する前記測定データを2次元の配列で作成するステップと、前記2次元の配列を平均平面が基準面と平行になるように傾斜補正するステップと、傾斜補正された前記2次元の配列を用いて前記凹凸形状の濃淡図を表示するステップと、前記濃淡図において断面図が必要である2点を指定するステップと、前記2点の間に存在する測定データを前記2次元の配列から取出して1次元の配列を作成するステップと、前記1次元の配列に対して所定角度で傾斜補正するステップと、傾斜補正された前記1次元の配列を用いて前記2点間の断面図を表示するステップと、からなることを特徴とする走査型トンネル顕微鏡における画像表示方法。
IPC (3件)：
G01B 7/34
, G06F 3/14
, H01J 37/28
