特許
J-GLOBAL ID：200903070243501982
周辺露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-089131
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283122
出願日： 1994年04月04日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 安価で、組立が容易で、且つ高精度の周辺露光装置を提供する。【構成】 基板位置検出機構6A,6B,6Cで紫外線照射ヘッド2の走査方向に対する角形基板1の基準辺1aの傾きを検出し、紫外線照射ヘッド2の移動軌跡が角形基板1の基準辺1aと平行になるように、基板位置検出機構6A,6B,6Cの検出結果に応じて、露光制御ユニット7でX軸駆動ユニット4を制御するようにした。これにより照明光学系や遮光のためのマスクを用いる必要も、角形基板の基準辺が紫外線の走査方向と平行になるように角形基板をアライメントする必要もなくなる。
請求項（抜粋）：
ステージ上に載置され、表面に感光層を有する角形基板の周辺部に、紫外線を照射する紫外線照射ヘッドと、前記紫外線が前記角形基板の周辺部を走査するように、前記紫外線照射ヘッドを前記角形基板の基準辺とほぼ平行に移動させる紫外線照射ヘッド走査手段とを備えている周辺露光装置において、前記紫外線照射ヘッドの走査方向とほぼ直交する方向に前記紫外線照射ヘッドを移動させる紫外線照射ヘッド移動手段と、前記紫外線照射ヘッドの走査方向に対する前記角形基板の基準辺の傾きを検出する傾き検出手段と、前記紫外線照射ヘッドの移動軌跡が前記角形基板の基準辺とほぼ平行になるように、前記傾き検出手段の検出結果に応じて、前記紫外線照射ヘッド移動手段を制御する制御手段とを備えていることを特徴とする周辺露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 501
