特許
J-GLOBAL ID：200903070243961410
集積回路検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-181412
公開番号（公開出願番号）：特開平6-029358
出願日： 1992年07月09日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】 集積回路の配線検査装置に関し,装置の構成を簡素化し,且つ大視野観察手段の追加を容易することを目的とする。【構成】 1)半導体集積回路の内部配線を検査する際,先端に導電性探針2を持つ導電性カンチレバー1により被測定電極の表面形状を判別し,該被測定電極に該導電性探針を接触させ,該導電性探針に接続する電気光学結晶4に光を入射させて生ずる電気光学効果を利用して該被測定電極に印加された電圧を測定する装置であって,該カンチレバーを保持するカンチレバー保持基板3上に該光の光源6および該電気光学結晶4を含む光学系が形成されている,前記カンチレバー保持基板3上に前記電気光学結晶4を通過した光を検出する受光器8を含む受光系が形成されているように構成する。
請求項（抜粋）：
半導体集積回路の内部配線を検査する際,先端に導電性探針(2) を持つ導電性カンチレバー(1) により被測定電極の表面形状を判別し,該被測定電極に該導電性探針を接触させ,該導電性探針に接続する電気光学結晶(4)に光を入射させて生ずる電気光学効果を利用して該被測定電極に印加された電圧を測定する装置であって,該カンチレバーを保持するカンチレバー保持基板(3)上に該光の光源(6) および該電気光学結晶を含む光学系が形成されていることを特徴とする集積回路検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 19/00
, G01R 31/28
