特許
J-GLOBAL ID：200903070257702280
プラズマ中において部材を熱処理する際の電流密度の制御方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川和 高穂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-159203
公開番号（公開出願番号）：特開平9-003646
出願日： 1996年05月31日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：
【要約】【課題】 既知の表面積FHEを有する補助電極を用いてプラズマ内で熱処理する際に熱処理される部材(以下単に部材という)を流れる電流密度を制御する方法、及びこの方法を実施する装置を課題とする。【解決手段】 補助電極を使用してプラズマ内で熱処理する際に部材を流れる電流密度を制御する方法と装置に関するものである。予めチャージ表面積FCHを計算せずに、適正な電流密度の値を得ることができるようにするために、第1の処理ステップにおいて中性のプラズマ内で補助電極9を用いて炉1内の全電流IGと補助電極9の上方の電流IHEが測定し、これらの値と補助電極9の既知の表面積FHEから未知のチャージ表面積FCHを計算する。次に補助電極9がスイッチ12を介してプラズマ発生器5から分離されて、中性のガスプラズマを物質(コーティング材)を伝達するプラズマとする。次に、計算されたチャージ表面積FCHと所望の電流密度目標値Jsollから制御器15を介して電流測定装置14で制御すべき目標全電流強さIGsollを計算する。
請求項（抜粋）：
熱処理炉内で、既知の表面積FHEを有する補助電極を用いてプラズマ熱処理する際に部材を流れる電流密度を制御する方法において、下記の工程を備えたことを特徴とする部材を流れる電流密度を制御する方法。a)前記熱処理炉内で中性ガスを用いてプラズマを発生させ、b)前記炉内の全電流IG と補助電極を流れる電流IHEを測定し、c)次の式に従ってチャージ表面積FCHを計算し:FCH=IG ・FHE/IHE-FHEd)前記補助電極をオフにし、e)物質を伝達するプラズマを発生させ、f)所望の電流密度目標値Jsollを制御するために調節すべき全電流IGsollを次の式に従って計算し:IGsoll =FCH・Jsollg)炉内の全電流IG を測定して、IG をIGsoll に制御する。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/54 Z
, H05H 1/46 A
