半導体加速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-326033
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148223
出願日： 1992年11月11日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】半導体加速度センサのおもり部やはり部の破損を防ぐ。【構成】台座2に半導体基板3を配設し、この半導体基板3中央部におもり部4を備え、このおもり部4は半導体基板3の周縁部5からのびたはり部6により支持されている。そして、半導体基板3の対向する周縁部5の上面に、おもり部4の動きを規制するワイヤ11を取り付ける。

請求項（抜粋）：

半導体基板中央部のおもり部が前記半導体基板の周縁部からのびたはり部により支持されてなる半導体加速度センサにおいて、前記半導体基板の上面に、前記おもり部の変位量を規制するワイヤを少なくとも1本設けたことを特徴とする半導体加速度センサ。

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