特許

J-GLOBAL ID：200903070265565445

窒化珪素焼結体およびその製造方法

発明者： 山田 俊行 ,  曽 文甲
出願人/特許権者： 株式会社いすゞセラミックス研究所
代理人 (1件)： 山本 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-200079
公開番号（公開出願番号）：特開平8-040775
出願日： 1994年08月02日
公開日（公表日）： 1996年02月13日
要約：

【要約】【目的】 珪素を原料とする窒化珪素焼結体の欠点である気孔や残留珪素を含まないようにし、機械的強度が高い窒化珪素焼結体を得る。【構成】 0.02wt%以上のFeを含有する窒化珪素焼結体であつて、窒化珪素焼結体に含まれる粒径0.5μm以上のFe化合物粒子について、200×200μmの2次元的範囲でFe化合物粒子が占める面積を0.1%以上にし、200×200μmの2次元的範囲を縦横20等分に区分したセル(10μm ×10μm 単位、400個)でFe化合物粒子が占める面積を15%以下にする。

請求項（抜粋）：

0.02wt%以上のFeを含有する窒化珪素焼結体であつて、該窒化珪素焼結体に含まれる粒径0.5μm以上のFe化合物粒子は、200×200μmの2次元的範囲に占める面積が0.1%以上であり、200×200μmの範囲を縦横20等分に区分したセル(10μm ×10μm 単位が400個)に占める面積が15%以下であることを特徴とする、窒化珪素焼結体。

IPC (3件)：

C04B 35/584 ,  C04B 35/591 ,  C04B 35/65

FI (4件)：

C04B 35/58 102 D ,  C04B 35/58 102 K ,  C04B 35/58 102 V ,  C04B 35/65