特許
J-GLOBAL ID：200903070266181187
ウエハ搬送処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-001940
公開番号（公開出願番号）：特開平7-211762
出願日： 1994年01月13日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】プロセス工程の構築が容易で保守性がよく、かつ真空処理装置の増設が可能な真空ウエハ搬送処理装置を提供する。【構成】ウエハを搬送する機能を持った複数個の真空搬送チャンバ3a〜lと、複数個の同一形状をした搬送管6をゲートバルブ5または9を介して連結して搬送路を構成し、真空搬送チャンバにウエハ処理室2a〜jまたは、複数個の処理室と接続した搬送チャンバと連結してウエハ真空処理装置を構成する。
請求項（抜粋）：
ウエハ搬送用ロボットを内部に持ち、ウエハを導入,排出するための搬送口を備えた複数個の真空搬送チャンバと、前記ウエハが内部を通過可能であり、両端部は連結すべき相手との気密を保てるように接続可能である複数個の搬送管を連結して搬送路を構成し、前記搬送路を構成している一個以上の前記真空搬送チャンバに、ウエハ処理室または、複数個の処理室と接続した搬送チャンバを連結することを特徴とするウエハ搬送処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/02
