特許

J-GLOBAL ID：200903070268775840

酸化タングステン膜の成膜方法

発明者： 宮崎 正美 ,  佐藤 一夫 ,  海老沢 純一
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-348616
公開番号（公開出願番号）：特開平10-183334
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】高い遮熱性を有し、面内における光学特性が均一な酸化タングステン膜を安定して生産できる電波透過型熱線遮断膜の成膜方法の提供。【解決手段】基体上に酸化タングステン膜を成膜する方法において、タングステンからなるターゲットを用いて、二酸化炭素を含む雰囲気中でスパッタリングすることを特徴とする酸化タングステン膜の成膜方法。

請求項（抜粋）：

基体上に酸化タングステン膜を成膜する方法において、タングステンからなるターゲットを用いて、二酸化炭素を含む雰囲気中でスパッタリングすることを特徴とする酸化タングステン膜の成膜方法。