回路パターンの検査方法及び検査装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-346042
公開番号（公開出願番号）：特開2006-179889
出願日： 2005年11月30日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：

【課題】白色光・レーザ光、あるいは電子線を照射して形成された画像を用いて微細な回路パターンを検査する技術において、検査に必要な各種条件を設定する際にその操作性効率を向上するめの技術を提供する。【解決手段】回路パターンが形成された基板表面に光、あるいは光および荷電粒子線を照射する手段と、該基板から発生する信号を検出する手段と、検出手段により検出された信号を画像化して一時的に記憶する手段と、上記記憶された当該領域の画像を他の同一の回路パターンが形成された領域と比較する手段と、比較結果から回路パターン上の欠陥を判別する手段からなる回路パターンの検査装置であって、検査用および検査条件設定用の操作画面に操作内容あるいは入力内容を表示する画面領域とその画面を表す項目名を表示する手段を備えており、且つ該項目名は該操作画面領域で一体化して表示する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

回路パターンが形成された基板表面に光、あるいは光および荷電粒子線を照射する手段と、該基板から発生する信号を検出する手段と、検出手段により検出された信号を画像化して一時的に記憶する手段と、上記記憶された当該領域の画像を他の同一の回路パターンが形成された領域と比較する手段と、比較結果から回路パターン上の欠陥を判別する手段から成る回路パターンの検査装置であって、検査用および検査条件設定用の操作画面に操作内容あるいは入力内容を表示する画面領域とその画面を表す項目名を表示する手段を備えており、且つ該項目名は該操作画面領域と一体化して表示されていることを特徴とする回路パターンの検査装置。

IPC (8件)：

H01L 21/66 , G01B 15/04 , G01B 11/24 , H01J 37/22 , H01L 21/027 , G03F 1/08 , G01N 21/956 , G01N 23/225

FI (8件)：

H01L21/66 J , G01B15/04 K , G01B11/24 F , H01J37/22 502A , H01L21/30 502V , G03F1/08 S , G01N21/956 A , G01N23/225

Fターム (103件)：

2F065AA03 , 2F065AA07 , 2F065AA20 , 2F065AA24 , 2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065BB27 , 2F065CC20 , 2F065FF04 , 2F065FF55 , 2F065FF63 , 2F065GG24 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065PP12 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ33 , 2F065QQ36 , 2F065SS02 , 2F065SS03 , 2F065SS04 , 2F065SS06 , 2F065SS13 , 2F067AA03 , 2F067AA15 , 2F067AA45 , 2F067AA62 , 2F067BB04 , 2F067BB21 , 2F067CC16 , 2F067CC17 , 2F067HH06 , 2F067HH13 , 2F067JJ05 , 2F067KK04 , 2F067LL15 , 2F067QQ02 , 2F067QQ14 , 2F067RR12 , 2F067RR30 , 2F067RR40 , 2F067RR42 , 2F067SS16 , 2F067UU03 , 2G001AA03 , 2G001AA07 , 2G001AA10 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001CA07 , 2G001CA10 , 2G001EA05 , 2G001FA01 , 2G001FA02 , 2G001FA06 , 2G001GA03 , 2G001GA04 , 2G001GA06 , 2G001GA08 , 2G001GA09 , 2G001GA13 , 2G001HA09 , 2G001HA12 , 2G001HA13 , 2G001JA02 , 2G001JA03 , 2G001JA07 , 2G001JA11 , 2G001JA13 , 2G001JA16 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA01 , 2G001PA05 , 2G001PA07 , 2G001PA11 , 2G001QA01 , 2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AB02 , 2G051CA03 , 2G051DA06 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EB01 , 2H095BD02 , 2H095BD12 , 2H095BD14 , 2H095BD27 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106BA05 , 4M106CA39 , 4M106DB04 , 4M106DB05 , 4M106DB08 , 4M106DB19 , 4M106DJ04 , 4M106DJ11 , 4M106DJ18 , 4M106DJ21

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平3-167456 号公報
J. Vac. Sci. Tech. B, Vol. 9, No.6, pp. 3005 - 3009(1991)、J. Vac. Sci. Tech. B, Vol. 10, No.6, pp. 2804 - 2808(1992)
電子ビーム検査方法とそのシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-124951 出願人：日本ケー・エル・エー株式会社

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